超纯水设备是反渗透设备跟离子交换混床或edi相结合配套使用，离子交换混床是通过离子交换树脂在电解质溶液中进行的，可去除水中的各种阴、阳离子，是目前制取高纯水工艺流程中不可替代的手段。离子交换器分为阳离子交换器、阴离子交换器等。 当原水通过离子交换柱时，水中的阳离子和水中的阴离子，与交换柱中的阳树脂H+离子和阴树脂OH-离子进行交换，从而达到脱盐的目的。阳、阴混柱的不同组合可使水质达到更高的要求。
　　超纯水是纯度极高的水。用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模板的制备和硅片氧化用的水汽源等。
　　第一，超纯水设备产出的水的几乎无杂质，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，一般不可直接饮用，对身体有害，会析出人体中很多离子。水是人类赖以生存六大营养素中最重要的一种，水中的矿物质和微量元素对人体健康至关重要。长期饮用纯水会或超纯水会减少人体对矿物质和有益元素的摄取。从对健康的关系而言，天然水优于超纯水的。
　　第二，超纯水是无营养的，就我国目前的膳食结构，许多微量元素难以从食物中摄取，主要从水中得到。水中钙的吸收率可达90%以上，而食物中钙的吸收率只有30%。
　　第三，对饮水来说，并非越纯越好，水中的无机元素是以溶解的离子形式，易被机体吸收，因此，饮水是人们矿物质的重要摄取途径。