12000中压氮压机主油泵震动异常，设备启动空载水平振动300μm，运行24小时400μm，36小时900μm，已经检查油气分离器、油箱过滤器、更换主油泵与电机联轴器、同轴度检查、逆止阀检查，振动劣化严重，求组专家们，谁能帮忙分析一下原因及排查方向。