物理吧 关注:1,336,084贴子:5,281,681
  • 0回复贴,共1
求助

有一个关于RF溅射自偏压的问题

只看楼主收藏回复

关于自偏压形成的解释是:由于交流电源的正负性发生周期交替,当溅射靶处于正半周时,电子流向靶面,中和其表面积累的正电荷,并且积累电子,使其表面呈现负偏压,导致射频电压的负半周时吸引正离子轰击靶材,从而实现溅射
但是在rf交变电压的情况下,由于电压是相对值,那阴极和阳极这个时候应该是对称的(上下电极一样),虽然电子移动比阳离子快,但是电子向两极的移动应该是均等的,为什么还会有直流偏置电压呢


IP属地:河南来自Android客户端1楼2025-01-11 14:17回复